在工厂所制造的产品质量要求越来越高的情况下，不只会对生产线环境的洁净度要求变高，同时也会要求产线稳定生产，避免临时性的故障停机造成产线停摆，进而造成产能的损失。像是马达，pump，robot 等都是工厂常见的部件，当临时损坏故障时必定影响产线的生产，若是能透过震动侦测传感器持续侦测，提早发现异常，及早安排保养进行维修更换，便可避免临时性的停机影响生产，因此在产线重要的部件安装震动侦测传感器，...

           整个半导体制造过程中产生的静电荷，主要是由不同材料的接触和分离引起的。静电荷以三种方式影响生产良率和产量：静电荷以静电吸附（ESA）从空气中吸引微粒，导致的晶圆和光罩的产出不良。静电放电（ESD）会在光罩、晶圆或封装芯片上造成即时或潜在的缺陷。静电放电还会产生电磁干扰（EMI），触发设备内的微处理器锁定和自动部件故障，导致生产流程中断和不良率提高造成的成本增加。   ...

一、概述作为热电偶（Thermocouple）的类型，TC Wafer 是直接接触于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度实时监测。由于其处于晶圆表面使得温度之量测数据，可依此反应特定位置的温度或测量量以及整体晶圆温度分布；同时，亦可利用此传感器来筛选温度控制不完整的电浆设备与热交换设备。二、设备简介\三：热电偶类型● Type K ( 0.5%) ，温度范围 0 to 600°C● T...

众所皆知半导体工艺是非常精密的高科技产业, 目前中芯国际先进的工艺是14奈米, 台积电是5奈米. 在奈米工艺阶段, 各种参数条件都必须要做严格的监控管理. 像是粗糙度(roughness), 应力(stress), 平坦度(flaness), 附着力(adhesion) 等等. 除了使用检查及量测设备来检验wafer 外, 更需要额外的仪器来辅助监控设备本身是否有异常状况.      例如C...