会议回顾-卫利携《液相颗粒原位观察与分析技术用于抛光液检测》精彩展示

随着半导体集成电路、生物医疗高端器械、航空航天尖端装备等高端产业的快速迭代升级，关键精密部件对表面粗糙度与面型精度的要求已攀升至亚纳米乃至原子级。作为决定精密部件可靠性和精度的核心后道工艺，精密研磨抛光技术正经历从材料研发到工艺创新的全面革新。

液态物质在SEM显微镜中，不再需要干燥预处理，可直接封装后观测原位液态中的颗粒物质样貌；全自动影像分析分析设备，用于检测/分析液体中物质形貌状况，并AI识别物质类别。