PFK TC-WAFER 简介

2025-07-14 09:50
一、概述
作为热电偶（Thermocouple）的类型，TC Wafer 是直接接触于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度实时监测。

由于其处于晶圆表面使得温度之量测数据，可依此反应特定位置的温度或测量量以及整体晶圆温度分布；同时，亦可利用此传感器来筛选温度控制不完整的电浆设备与热交换设备。

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二、设备简介

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三：热电偶类型


● Type K ( 0.5%) ，温度范围 0 to 600°C
● Type R/S (精度级别 0.25%) ，温度范围 0 to 1200°C


四：TC WAFER 构成

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五、软件界面简介

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若想获取更多详情，请与我们联系！


联系人：陆辉

电话：13771505640

E-mail: Alex.lu@winifred-hk.com

公司网址：http://www.winifred-hk.com


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