会议现场-卫利携《湿化学品中纳米颗粒的检测方法》精彩展示

卫利集团聚焦颗粒微污染管控和静电防护，结合行业中“光散射原理”、“凝结核原理”、“视觉/动态图像侦测”等测试原理和方法，深耕半导体产业中的颗粒和Precursor测试，更好的为半导体行业和其供应链中湿化学品检测保驾护航。

1. 湿化学品的Native Particle和Particle Precursor测试，可以对小到3nm的size测试，更还可对“硫酸”和“盐酸”样品完成9nm的颗粒测试；

2. 对于光阻液和PGME/PGMEA也可通过“视觉/动态图像法”实时测试并提供“影像、颗粒粒径和数量浓度”等信息；3. 对于清洗后或接触湿法工艺后的产品表面会因残留微小气泡干燥后造成各种颗粒不良，那对于液体中的气泡可通过“视觉/动态图像法”实时测试并提供“影像、气泡数量”等信息。