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CT-100手持式气体纳米颗粒测试和收集器
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CT-100手持式气体纳米颗粒测试和收集器

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产品目的:测试气体(CDA或N2)中纳米颗粒污染物
产品功能:
 适用于EFEM，FOUP,机台内的气体颗粒测试
 采用UPW为工作液，可以在厂内安心使用
 测量范围:4.5NM以上
 实时性高，响应时间<0.5秒
品牌 ENMONT
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产品详情产品规格产品应用

产品目的:测试气体(CDA或N2)中纳米颗粒污染物

产品功能:

l   适用于EFEM，FOUP,机台内的气体颗粒测试

l   采用UPW为工作液，可以在厂内安心使用

l   测量范围:4.5NM以上

l   实时性高，响应时间<0.5秒