• Multi-channel Voltage Detection

    NOVX MODEL 3352/3362


    Simco-Ion 的 Novx 3352(被动 Passive)和Novx 3362(主动 Active)多通道闭环离子风机控制系统,能同时侦测,量度,记录和监察多个位置的静电电压。系统使用的多功能天线能在各种应用中使用,包括监控静电敏感的工作站,设备内的静电电压,或电离产生器的性能,并可选择闭环控制离子风机。单台系统更多可连接3个多功能天线。这多通道功能为多个区域或多台电离产生器提供了具有成本效益的监控解决方案。使用软体Calibrator_Reader,数据输入被主动监控并记录时间戳。仪器设有用户可设置的阈值和报警级别,与报警输出接口时,可为主要区域提供主动保护。超出范围的情况时能触发远程报警灯或声响报警,关闭关键过程,或调整离子风机。

    • 产品特点及优点
    • 产品规格
    • 产品应用

    ◆ 特点


    ○ 数码微处理操控的控制台,多通道,数码 I/O,辅助 I/O,本地寻址性,RS-485/Modbus 或,Ethernet 数据输出

    ○ 被动(不需电源)和主动式天线配置

    ○ 精确分辨率

    ○ 可编程的闭环控制用于多达 3 台 SSDC 离子风机 或一台 3 风扇的离子风机

    ○ 可编程的报警设定点,有设备关闭选项

    ○ 电压/极性显示,每个通道在控制台上有红/绿 LED 表示状态

    ◆ 优点


    ○ 与其他监控方案相比,易于集成,有成本/性能优势,能与其他 Novx 仪器或设备控制台直接通信

    ○ 多样各种应用:在远距离监测静电电压和离子平衡;在位执行消散时间测试,而不需要增加使用 CPM 的费用

    ○ 测量并记录电压至 0.1V

    ○ 根据离子平衡或消散时间测试结果,对离子风机启用闭环反馈控制

    ○ 降低制程异动,减少废料/返修,提高工艺产量

    ○ 仪器上的视觉指示灯

    Model 3352 Model 3362
    输入电源 24 VDC 24 VDC
    负载容量 1,2 or 3 fans 1,2 or 3 fans
    检测范围 1,2 or 3 fans 0 to ±150V
    精准度 0.5V for <20V;±5% for>20V 1V for <20V; ±5% for>20V
    声响报警设定点 ±0.5V (min) ±1V (min)
    通道 LED 显示 红/绿 或报警指示灯 红/绿 或报警指示灯
    报警设定点 可编程 可编程
    零点设定点 可编程 可编程
    辅助输出 集电极开路 集电极开路
    输出信号 数码 数码
    可接天线数量 更多 3 通道 更多 3 通道
    消散时间测试 没有 没有
    通信 Novx Comm,RS-485/Modbus,Ethernet Novx Comm,RS-485/Modbus,Ethernet
    数字显示/通道 4 位数字 4 位数字
    体积 5.1W x 17.3D x 16.5H cm 5.1W x 17.3D x 16.5H cm
    重量 0.95 kg 0.95 kg
    封装 Stainless Steel Stainless Steel
    保修期 两年有限保修 两年有限保修
    证书
    Novx 3352 被动多通道闭环控制台与被动天线连接,以灵敏度低至 1V 来检测低水平电压变化和离子电流(≤400V)。

    ◆ 天线连接配置:


    • 监控移动目标的电压

    • 监控离子风机的离子平衡

    • 为离子风机提供闭环控制

    • 区分靠近的电压和稳态直流离子风机的信号

    Novx 3362 主动多通道闭环控制器连接到主动天线,提供与 3352 相似的电压和离子电流检测能力,并附加消散时间测试。主动天线充当平板监测仪(CPM),以可编程频率周期性地测量离子风机的消散时间。在 3362 的前面板上提供了“消散时间测试”按钮,用于手动启动测试。

    ◆ 天线连接配置:


    • 监控移动目标的电压

    • 监控离子风机的离子平衡

    • 区分靠近的电场和稳态直流离子风机的信号

    • 自动执行消散时间测试或按需手动命令

    Novx 3362 主动多通道闭环控制器连接到主动天线,提供与 3352 相似的电压和离子电流检测能力,并附加消散时间测试。主动天线充当平板监测仪(CPM),以可编程频率周期性地测量离子风机的消散时间。在 3362 的前面板上提供了“消散时间测试”按钮,用于手动启动测试。

    ◆ 天线连接配置:


    • 监控移动目标的电压

    • 监控离子风机的离子平衡

    • 区分靠近的电场和稳态直流离子风机的信号

    • 自动执行消散时间测试或按需手动命令