Semiconductor manufacturing
在工厂所制造的产品质量要求越来越高的情况下, 不只会对生产线环境的洁净度要求变高, 同时也会要求产线稳定生产, 避免临时性的故障停机造成产线停摆, 进而造成产能的损失. 像是马达, pump, robot 等都是工厂常见的部...
整个半导体制造过程中产生的静电荷，主要是由不同材料的接触和分离引起的。静电荷以三种方式影响生产良率和产量：静电荷以静电吸附（ESA）从空气中吸引微粒，导致的晶圆和光罩的产出不良。静...
一 概述： TC为热电偶（Thermocouple）的简称，TC Wafer則是直接鑲嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度实时量测。 借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定...
众所皆知半导体工艺是非常精密的高科技产业, 目前中芯国际先进的工艺是14奈米, 台积电是5奈米. 在奈米工艺阶段, 各种参数条件都必须要做严格的监控管理. 像是粗糙度(roughness), 应力(st...
