◆ 准确且快速地测试纳米级别胶体颗粒物
○ 6-360nm的测量范围可在5分钟内完成测试
○ 测试出样品中实际的定量浓度
○ LNS可以测试样品中的任何粒子、任何形状、任何成分、任何分布(包括多模态)
○ LNS广泛适用于CMP研磨液、树脂、生物制药、过滤器性能的监测和控制
◆ SEMI 标准认证量测技术
○ SEMI C79-0113，超纯水系统中< 15 nm 滤料过滤效率检测指南 “Guide to Evaluate the Efficacy of Sub-15 nm Filters used in Ultrapure Water (UPW) Distribution Systems.
○ SEMI C93-0217，研磨抛光用超纯水系统中离子交换树脂质量检测指南 “Guide for Determining the Quality of Ion Exchanged Resin used in Polish Applications of Ultrapure Water (UPW) Systems.”
○ SEMI C98-1219, 半导体制造中的化学机械抛光颗粒物粒径分布量测技术及数据报告指南“Guide for Chemical Mechanical Planarization (CMP) Particle Size Distribution (PSD) Measurement and Reporting Used in Semiconductor Manufacturing”
◆ 专利技术
○ 专利第 8,272,253 号，专利第8,573,034 号向, CT Associates, Inc. 所有， 授权Kanomax 使用
○ 专利第 7,852,465 号， Kanomax FMT所有
○ Kanomax已对LNS申请了包含国内和国际其他国家的技术专利，即：以上专利均受美国及全球专利权保护
◆ 1年质保
○ 通过结合已被计量标准机构(NIST美国和AIST，日本)权威认证的气溶胶粒径尺寸和计数的粒径分布测量技术，以及Kanomax的雾化器技术，LNS可成功准确量测浓缩悬浮液中的颗粒大小和数量浓度。
○ LNS可以广泛用于半导体行和其CMP研磨液的粒径分布测量，其测试结果更加准确、测试数据更加精准以及粒径区分具有更高的分辨率。
○ LNS数据是通过直接计数的形式获得，没有基于经验的数据拟合、假设或粒径标定的人为计算过程。LNS操作软件可以选择识别每个颗粒尺寸模式，并在10%，50%和90%分布上获得对应的累计数据。亦可通过测试数据轻松获得指定的不同通道尺寸的累计数据或者不同的变化状态。
○ 不对颗粒粒径分布形状做任何预设和假设，LNS可以直接测量并获得实际的数量浓度，而非相对颗粒浓度。
○ 在SEMI C92中，LNS被用来测定离子交换树脂的性能和质量。在SEMI C79中，LNS评估了用于超纯水系统的小于15纳米过滤器的效率。目前还没有其他粒子仪器能够进行SEMI C79所描述和要求的测量。
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KFMT 液体纳米颗粒粒度仪 LNS 9310 |
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| 颗粒粒径尺寸 | 6-360 nm |
| 颗粒粒径尺寸分辨率 | 每个decade包含64个粒径通道 |
| 测试时间 | <5 minutes |
| 检定体积流量 | 0.2-1.0 μL/min |
| 总进样液体流量（在线测量模式） | 50-280 mL/min |
| 雾化器流量 | 0.5-3.0 mL/min (direct injection) |
| 稀释系数范围 | 50-20,000 |
| 进样浓度范围(稀释后) | 3E7-3E11 number/mL |
| 浓度变化的响应时间 | <90 seconds |
| 进样水压范围（在线） | 140-300 kPa (20-45 psig) |
| 压缩空气（氮气）气压及流量 | 2.5 std L/min CDA or Nitrogen 2.8 bar (50-60 psi) |
| 湿面材质（雾化前） | PFA, PTFE, 蓝宝石, 316L不锈钢， PEEK |
| 粒子计数器工作流体 | 试剂级正丁醇 n-butyl alcohol (butanol) |
| 通讯模式 | 网络，内置存储卡 |
| 电源 | 100/115/220/240 VAC; 50-60 Hz |
| 操作环境温度 | 10-35°C |
| 操作环境湿度 | 0-90% RH 非凝结状态 |
| 存储环境温度 | 5-35°C |
| 尺寸 | 9.5 × 8 × 36 inches (D/W/H) |
| 操作软件-电脑操作系统 | Windows 10 |
