◆在线监测超纯水（UPW）系统运行工况及稳定性
○ 10 nm液体颗粒物高效率计数器，10 nm 计数效率高达50%
○ 在线实时监测液体中纳米颗粒物数目浓度
○ 计数效率不受颗粒物性状、折射率或化学组分影响；检测灵敏度不受液体介质干扰
○ 有效监测超纯水（UPW）中有机物、胶体颗粒物、树脂颗粒及其它良率影响因子
◆SEMI 标准认证量测技术
○ SEMI C79-0113，超纯水系统中< 15 nm 滤料过滤效率检测指南 “Guide to Evaluate the Efficacy of Sub-15 nm Filters used in Ultrapure Water (UPW) Distribution Systems.
○ SEMI C93，研磨抛光用超纯水系统中离子交换树脂质量检测指南 “Guide for Determining the Quality of Ion Exchanged Resin used in Polish Applications of Ultrapure Water (UPW) Systems.”
◆专利技术
○ 专利第 8,272,253 号，专利第8,573,034 号向, CT Associates, Inc. 所有， 授权Kanomax 使用
○ 专利第 7,852,465 号， Kanomax FMT所有
○ Kanomax已对LNS申请了包含国内和国际其他国家的技术专利，即：以上专利均受美国及全球专利权保护
◆ 1年质保
○ 实时监测≥10nm的颗粒
○ 快速的响应时间可对待检测颗粒污染水平的变化进行精准侦测。且测试本身不依赖于颗粒的折射率或颗粒形状。
○ 可选择单粒径范围连续式(非多粒径范围扫描式)监测模式。
○ 用胶态二氧化硅校准物校准（ERM可追溯)
○ 设备可移动且易设，坚固耐用性高，维护频次低
○ 触摸屏，简单易操作
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KFMT 在线连续纳米级液体颗粒计数器 STPC 9010 |
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| 颗粒物浓度可测范围 | 1E3 to 1E10 #/mL |
| 检定单位体积流量 | 1 - 5 μL/min |
| 粒径限度 | 10、15、20 nm (限度粒径定义为50%计数效率粒径)，用户可选设置 |
| 粒径通道数 | 1-3，用户可选设置 |
| 粒径通道调整稳定时间 | 2-5 分钟 |
| 总进样液体流量 | 50-280 mL/min |
| 浓度变化响应时间 | < 30 seconds |
| 进样水压范围 | 100-200 kPa (15-30 psig) |
| 压缩空气（氮气）气压及流量 | 2.5 std L/min, 340-410 kPa (50-60 psi)，定位钉更长9mm。 |
| 压缩空气质量标准 | ANSI IS08573-1:2010 Class 2 for compressed air |
| UPW中不可挥发性残留物浓度上线 | 200 ppt at 10 nm限度粒径, 1 ppb at 20 nm |
| 湿面材质 | PFA, PTFE, PEEK, 蓝宝石, 316L不锈钢 |
| 粒子计数器工作流体 | 试剂级正丁醇 (n-Butyl alcohol) |
| 工作流体使用量 | 约 150 mL/day |
| 运行环境温度 | 15-35°C (59-95°F) |
| 运行环境相对湿度 | 0-85% (无冷凝状态) |
| 更高样品水温 | 50°C (122°F) |
| 外部尺寸规格 (长 x 宽 x 高) | 42 × 43 × 27 (43 包括工作流体瓶) cms, 16.7 × 16.8 × 10.5 (16.8 包括工作流体瓶) inches |
| 重量 | 16.1 Kg (35.5 lbs) |
| 电源 (雾化器) | Universal 100-240 VAC, 50/60 Hz, 90 W max |
| 电源 (计数器) | Universal 100-240 VAC, 50/60 Hz, 210 W max |
| 数据输出 | RJ-45 for Modbus, USB FlashDrive |
| 内置数据存储 | Micro SD |
| UPW 进样口接头 | ¼ inch PFA Flaretek® |
| 废液出口接头 | 1/4 inch SS Swagelok® |
| 压缩空气（氮气）进样接头 | ¼ inch SS Swagelok® |
| 显示屏 | 7 英寸 TFT Color, 触摸屏 |
| 排液接口 | Colder brand quick disconnect |
| Kanomax | 保留更改规格参数的权利 |
