分析器
性能参数

SI2104

 SI2108

SI2306

H2S
硫化氢

HCI
盐酸

H2O
水汽

HF氢氟酸
 (SI2205 for HF only)

NH3 氨气
(SI2103 for NH3 only)

精度

≤1.5 ppb (10 sec),  
≤0.5 ppb (100 sec)

≤45 ppt (10 sec),
≤15 ppt (100 sec)

20 ppm + (8 x %H2O) (10 sec)
10 ppm + (4 x %H2O) (100 sec)

≤30 ppt (10 sec),
≤10 ppt (100 sec)

≤300 ppt (10 sec),
≤100 ppt (100 sec)

侦测下限
 (100 sec., 3σ)

1 ppb

45 ppt

30 ppm

30 ppt

300 ppt

方法检测极限
(per Semi C10-1109)

3 ppb

250 ppt

40 ppm

500 ppt

500 ppt

线性
(per IEC 61207)

±1%

±1%

±1%

±1%

±1%

跨度精度

±5% @ full scale

±5% @ full scale

±5% @ full scale

±5% @ full scale

±5% @ full scale

零点精度

±2 ppb

±50 ppt

±40 ppm

±25 ppt

±100 ppt

设备各部件一致性

±5% @ full scale
±2 ppb @ zero

±5% @ full scale
±50 ppt @ zero

±5% @ full scale
±40 ppm @ zero

±5% @ full scale
±25 ppt @ zero

±5% @ full scale
±100 ppt @ zero

测试量程

0–10 ppm

0–2 ppm

0–40000 ppm

0–1 ppm

0–10 ppm

测量间隔

<4 seconds

<3 seconds

<4 seconds

采样量

~0.4 slm

~2 slm

~2 slm

响应时间
 (T90/10 + T10/90) @ 20 ppb

<20 sec (100 ppb challenge)

<3 min

<20 sec (10,000 ppm challenge)

<3 min

下降时间 T90/10 @ 20 ppb

<10 sec (100 ppb challenge)

<1 min

<10 sec (10,000 ppm challenge)

<1 min

SI2000 系列系统参数

测量技术

Cavity Ring-Down Spectroscopy 光强衰荡技术

校准周期（建议）

不需要校准- 6个月时进行首次验证，之后每12个月进行一次

执行验证所需的时间

根据制造商的告知，预估时间少于15分钟

测量单元温度控制

±0.005°C

测量单元压力控制

±0.0002 atm

工作环境温度

15 to 35°C (operating); -10 to 50°C (storage)

工作环境湿度

 <99% RH non-condensing

配件

 泵（外置泵），键盘，鼠标，LCD显示屏（选配），保养工具套装（选配）

通信接口

 RS-232, Ethernet, USB, analog 0–10 V, Modbus, 4-20mA(optional)

连接件

 1⁄4” Swagelok® PFA Fittings

尺寸

 Analyzer: 17” w × 8.38” h x 24.4” d (43.2 × 21.3 × 62 cm)

重量

 73 lbs. (33.18 kg) including external pump

供电

 100–240 VAC, 47–63 Hz (自动判断), <400 W (整体): 250 W (分析器), 150 W (pump) 稳定状态

保修期

12个月

认证

CE Mark

生产国

USA