• 实时间隙侦测仪

    AGS


    帮助在半导体制程中薄膜沉积、溅射、刻蚀等真空环境下非接触式测量间隔和进行平行调整;
    比较测量3点间隙距离的方式获得调整设备的准确参数;
    易于使用的GapView™ 和 GapReview™软件,通过数值和图形显示,调整你想要的间隔参数;


    • 产品特点及优点
    • 产品规格
    • 产品应用

    ◆ 特点


    ○ 提供200mm和300mm、450mm三种规格

    ○ GapView:显示实时数据和图形,容易判断目标是否在间隙误差范围之内和之外

    ○ GapReview:重放日志文件数据以供分析


    实时间隙侦测仪
    外壳材质 Anodized aluminum (200 & 300mm), Carbon fiber composite (450mm)
    重量 225 grams (200mm), 400 grams (300mm), 750 grams (450mm)
    Gap accuracy W387mm X D344.5mm X H328mm
    操作压力 <10e-6 to 760 torr
    操作温度 20到70摄氏度
    电池操作时间 满电量可使用大于4小时
    连接 蓝牙,2.4GHz
    操作系统 Windows 7, XP, Vista
    产品组成 AGS测量装置,充电清洁箱,携带手提箱,USB通信连接模块与应用软件
    校准 建议每年返厂校准一次

    ◆ 应用



    • 晶圆制造,显示面板制造设备
    • 机械制造
    • 科学研发