• 实时水平侦测仪

    ALS


    使用该工具快速和准确地设置相同的水平度以获得更好的工艺均匀性.
    优化设备设置:测量卡匣、晶圆盒、执行器、对准器、和工艺腔底座的倾角,使您的设备发挥出色的功能;


    • 产品特点及优点
    • 产品规格
    • 产品应用

    ◆ 特点


    ○ 提供200mm和300mm、450mm三种规格

    ○ ALS2V200C可测量垂直

    ○ 易于使用的软件——LeavView 和 LeavlReview

    ○ LevelVIEW:实时视觉反馈。数字读出,帮助精确的调整

    ○ LevelReview:日志文件数据以供回顾和分析


    实时水平侦测仪
    外壳材质 碳纤维复合材料
    重量 150 grams (200mm), 240 grams (300mm), 600 grams (450mm)
    水平方向 +/-0.03°在方向±7°范围内
    垂直精度 +/-0.05°在垂直方向±50°范围
    水平方向分辨率 +/-0.002°在+/-14°范围内
    垂直方向分辨率 +/-0.01° 在+/- 50° 范围内
    操作压力 <10e-6 to 760 torr
    操作温度 20到70摄氏度
    电池操作时间 满电量可使用大于4小时
    连接 蓝牙,2.4GHz
    操作系统 Windows 7, XP, Vista
    产品组成 ALS测量装置,充电清洁箱,携带手提箱,USB通信连接模块与应用软件
    校准 建议每年返厂校准一次

    ◆ 应用



    • 晶圆制造,显示面板制造设备
    • 机械制造
    • 科学研发