• 实时对中侦测仪

    ATS


    使用该工具快速实现晶片切换校准,正确的对准和设置。
    在半导体设备内部实时捕捉维偏移数据(X,Y和Z),快速测试晶片传送装置的精度,精度达100um。

    • 产品特点及优点
    • 产品规格
    • 产品应用

    ◆ 特点


    ○ 提供200mm和300mm、450mm三种规格

    ○ 内置摄像头功能:实时显示设备内部目标的X-Y-Z偏移量

    ○ TeachView:显示实时视频和目偏移量,记录数据

    ○ TeachReview:重现日志数据以便查看和分析

    ○ 抓取目标:圆形特征,直径3mm至10mm


    实时对中侦测仪
    外壳材质 碳纤维复合材料
    重量 160 grams (200mm), 235 grams (300mm), 600 grams (450mm)
    精度 +/- 0.1mm (X 和 Y 方向): +/- 0.8mm (z 方向)
    工作距离 6.5mm to 45mm
    操作压力 <10e-6 to 760 torr
    操作温度 20到70摄氏度
    电池操作时间 满电量可使用大于2小时
    连接 蓝牙,2.4GHz
    操作系统 Windows 7, XP, Vista
    产品组成 ATS测量装置,充电清洁箱,携带手提箱,USB通信连接模块与应用软件
    校准 建议每年返厂校准一次

    ◆ 应用



    • 晶圆制造,显示面板制造设备
    • 机械制造
    • 科学研发