采用 Simco-Ion 调制脉冲 (MP) 技术的更新离子棒现在可通过 Novx 监测和反馈系统提供主动反馈和控制。型号 5645 AeroBar 提供行业领先的平衡电离性能，设计用于半导体制程应用、特别是包括更新 3D 技术的先进封装应用，符合快速消散静电、和精确而低摆幅的平衡电压的要求。专利的调制脉冲技术，让 AeroBar离子棒 可放置在近至距晶圆 150 mm 的位置，近距离控制对微细的技术.节点至关重要。精细调整结合超洁净的 SCSi 静电针，5645 MP 棒的洁净度能超越 ISO 14644-1 Class 1，符合适用小于 10 nm 微粒的延伸 ISO Class 1 水平*。
型号 5645 离子棒与 Novx 监测和反馈系统连接安装，可以维持 ±5V 以内的精确平衡电压。离子棒能容易设置和微调参数 - 输出电压，脉冲频率，正负平衡，以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。处于层流风较弱的制程，可选吹气辅助功能以能加快离子的推送，得到更快的消散时间和有更远的工作距离。型号 5645 AeroBar 有 14 种长度 从 350 mm 至 2,350 mm 可选。
○ ±5V 配置 Novx 监测和反馈系统
○ 采用 SCSi 静电针兼容 ISO 14644-1 Class 1和延伸 ISO Class 1；采用 Ti 静电针兼容 ISO 14644-1 Class 3
○ 使用广泛调整的软件集中管理电源和控制
○ 传感器输入、FMS 接口、警报、电源和通信等功能设置在离子棒的同一端
○ 提供主动反馈/控制，对静电防护实现精确稳定的平衡电压
○ 兼容所有元件的技术节点
○ 无需在安装位置手动调整
○ 设计整体易用和长维护周期
|
型号5645 产品规格 |
|
|---|---|
|
输入电压 |
24 VDC ±10%, 0.7A (max) |
|
平衡电压 |
<±5V, Novx System; <±5V, Novx Inside; <±20V, 单根版 |
|
消散时间 |
15 秒 (典型) 没有吹气辅助，在棒中下面 61 cm 工作距离 |
|
电离技术 |
调制脉冲(MP) 技术 |
|
输出电压 |
13.5 kV peak-to-peak, max |
|
静电针材质 |
单晶硅（SCSi) 或钛 （Ti） |
|
脉冲频率 |
0.3-60 Hz |
|
风嘴间距 |
棒长350 mm, 450 mm 和 600 mm 是 50 mm 间距，其他长度是75 mm 间距 |
|
符合洁净度 |
SCSi Emitters: 兼容 ISO 14644-1 Class 1 和 Extended ISO Class 1 Ti Emitters: 兼容 ISO 14644-1 Class 3 |
|
设定 |
通过软件控制进行远程调整；棒上没有手动调整功能 |
|
LED 显示 |
稳定绿色-正常运行（NORMAL），闪烁绿色-待机（STANDBY），红色-报警（ALARM） |
|
输气接头 |
8 mm 外径快速接口接入，没有串联功能 |
|
供气要求 |
Op选配 CDA (清洁干燥压缩空气) 或 N2 (氮气) |
|
气量要求 |
选配45 psi (更大)；每个风嘴输出 1-3.5 litre/min 的风量 |
|
臭氧产生 |
<0.05 ppm |
|
EMI |
低过背景水平 |
|
操作环境 |
15-35℃，30-60% RH，无冷凝 |
|
封装 |
ABS chassis, 棒上不锈钢长条作回馈 |
|
体积 |
3.1”H x 1.3”W x 14/18/24/34/39/45/51/57/63/69/75/81/87/93”L |
|
证书 |
申请中 |
|
型号5601 电源分配盒 |
|
|
输入电压 |
24 VDC 提供给一组 4 根棒，总电流要求 5.6A（0.7A 电流/端口) |
|
通信 |
以太网(RJ-45) 接连电脑；个别离子棒的待机输入 |
|
警报输出 |
继电接点连地 |
|
输出端口 |
8 个 RJ-45 端口，每根棒接一个端口 |
|
LED 显示 |
电源- 绿，通信 - 黄，警报 - 红，LAN 通信 - 蓝 |
|
重量 |
0.94 lbs (0.42 kg) |
|
体积 |
3.1H x 16.0L x 9.2W cm |
|
证书 |
|
