一 概述：
TC为热电偶（Thermocouple）的简称，TC Wafer則是直接鑲嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度实时量测。
借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整体晶圆温度分布；同时，亦可利用此传感器來持续监控在热处理过程中晶圆暂态温度变化，例如：升温、降温过程及延迟周期等。（温度的均匀与否关系良率）
二 设备简介：
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数据转换系统 |
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来自National Instruments TM 16通道，更大支持64通道。 |
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软件 |
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温度剖面图 彩色 2D/3D 显示（采样率，大、小温度，范围，点位） 数据保存、导出。 |
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TC-WAFER |
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可指定热电偶类型，点位，数量 |
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扩展线 |
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可指定绝缘层材质，接头类型。 密封的聚酰亚胺扁平电缆，可在大气中达到10-7托。长度由客户指定。 |
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RFQ |
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项目 |
内容 |
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硅片尺寸及型式 |
2,3,4,5,6,8,12 吋 / Flat, Notch |
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量测点位数量 |
1 - 34 点 (12 吋) |
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正面或背面量测 |
正面 / 背面 |
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热电偶型式 |
K, R, S others() |
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线的总长度需求 |
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一段线的线径 |
0.127mm, 0.075mm (RTP 建议) |
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一段线的长度 |
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一段线的材质 |
Polyimide with teflon , Silica sleeve, |
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第二段线的长度 |
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第三段线的长度 |
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第三段线的材质 |
Polyimide with teflon , Silica sleeve, |
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接头型式 |
Mini connector 2pin, |
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工艺温度 |
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应用 |
CVD, PVD, RTP, Photo, others() |
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仪器需求 |
DAQ system (Data Acquisition system), |
三：热电偶类型
● Type K ( 0.5%) ，温度范围 0 to
600°C
● Type R/S (精度级别 0.25%) ，温度范围 0 to 1200°C
四：TC WAFER 构成
五：软件界面简介
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