• 振动传感器

    Vibration sensor


    VRS可以24小时监控Robot、Dry Pump/ Motor/ Cylinder/ Belt、FOUP/OHT等零件。纪录从正常状态到异常发生的G值变化 (0.2--0.25--0.3--0.35 till failed…) 监控,并且可以分析何种零件损坏/对应到哪种频率变化,透过sensor发现数据—设备旁的边际运算分析,可选择直接连动设备(PLC)或是上报到FDC控制,以便达到提早预知Robot异常,避免产品损失。 也可将VOC/Particle/Gas sensor同时安装于FOUP内,达到全厂监控的目的。另外微程式提供客制化服务,欢迎来电咨询

    • 产品特点及优点
    • 产品规格
    • 产品应用

    ◆ 特点


    ○ 可传送Raw data

    ○ 可依后台设定,传送警报值

    ○ 可设定量测排程

    ○ 具预兆诊断功能

    ○ 可量测 5~ 5khz,X;Y,Z 轴

    ○ 可外接 sensor,与MCU板分开

    ○ 具外接电源与内键电池可依后台设定,传送警报值方便使用的设计


    ◆ 优点


    ○ 三种波形类别量测模式--- RMS、PEAK 、Peak to Peak

    ○ 加速度、速度、位移量之更高值显示

    ○ 单次存档与连续存当模式,并且可设定档案存放時间

    ○ 自动 STFT 排程图形转换功能---并支援19种 Windows type 转换

    ○ G-force offset 与 filter cutoff 之调整

    ○ 画面缩放与各视窗显示值之调整

    ○ 使用 Intel i5 八代 CPU,可同时支援 6~ 8个 Sensor进行收值

    ◆ 应用



    • 马达量测
    • Robot量测
    • 半导体厂/面板
    • 封测厂量测- Cylinder
    • 汽车厂
    • 其他应用